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SEM掃描電子顯微鏡 JSM-6510系列
JSM-6510是一款高性能低價格的掃描電子顯微鏡，分辨率可達3.0nm。可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。Smile Shot™軟件保證得到電子光學參數。JSM-6510的LGS型大樣品臺和GS型普通樣品臺可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。

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主要特點

強大的電子光學系統，簡單操作

Ⅰ

設計的圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質量照片。

Ⅱ

廣域掃描線圈可以得到5倍的放大倍數從而提高觀察樣品的效率。

Ⅲ

優秀的電子光學系統可以在大束流下形成小束斑，有利于微區分析。

高分辨率

Ⅰ

JSM6510系列圓錐形物鏡，在工作距離8mm時的分辨率為3nm，圓錐形物鏡

的外形設計可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。

全自動電子槍

Ⅰ

JEOL開發的全自動電子槍能夠產生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進

行觀察或成分分析。

Ⅱ

電子槍偏壓是調節電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統能隨著電壓變

化隨時調整偏壓，使得無論選擇哪個加速電壓，都能得到亮度。

Ⅲ

JEOL獨有的像散記憶功能能夠自動糾正隨加速電壓或工作距離改變而產生的像散。

1KV

5KV

10KV

20KV

多圖顯示模式

Ⅰ

主顯示區可以同時顯示兩幅實時圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區

也可顯示２幅實時圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或ＣＣＤ相機圖像。

Ⅱ

雙實時顯示模式可以用于不同信號圖像的對比，用戶可在觀察表面形貌的同時了解

樣品的成份分布情況。

Ⅲ

選用多種圖像顯示模式時，點擊"PHOTO"按紐可同時獲得并存儲2或3幅全屏尺度圖像。

簡單易懂的操作接口及菜單

Ⅰ

操作接口簡單，直觀，默認的操作接口顯示了常用的功能按鈕，并以簡單圖文標

明，點擊鼠標即可操作所有功能。

Ⅱ

實時量測，圖片上的長度和角度等結構細節能在顯示器上進行測量。

可變焦聚光鏡修正

Ⅰ

做表面觀察和元素分析等不同應用時，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡

與物鏡光闌來控制電子束流的。如果在調整束流過程中，焦點和觀察區域位移變化

很小，調整起來會比較方便。JEOL獨有的可變焦聚光鏡可以保證這一點。

小束流

中等束流

大束流

全對中樣品臺

Ⅰ

當樣品臺傾斜時，全對中樣品臺可使圖像位移和焦點變化。使用此樣品臺可多

方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體

圖片觀察深度。

低真空SEM

Ⅰ

低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下，

不導電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。結合JEOL獨有的冷凍干燥技術，

可在低真空模式下快速觀察含水樣品。

各類附件接口

Ⅰ

EDS（能譜）WDS（波譜）BEIW（背散射電子探頭）SCU（冷臺）SHIC（IC樣品座）LVSE（低真空二次電子探頭）等等

技術參數

放大倍數	5-300，000倍
分辨率	高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
電子槍	全自動，亦可手動調整
樣品臺	大全對中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉：360度
燈絲	工廠預對中燈絲（鎢）
圖像模式	二次電子像，成份像，拓撲像，陰影像
加速電壓	5-30KV
聚光鏡	可變焦聚光鏡
物鏡	錐形物鏡
物鏡光闌	3檔，X-Y可細調
電位移	±50微米
自動功能	聚焦，亮度，襯度，消像散
樣品	直徑：150mm
樣品交換	抽拉式樣品臺
真空系統	全自動擴散泵DP。分子泵TMP（選購）
操作系統	Windows XP

安裝要求

電源	單相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 穩壓范圍10%以內（壓降3.0KVA3%以內）
地線	獨立地線一條，小于等于100歐
溫度	20土5℃
濕度	小于等于60%
交流磁場	小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV）
地面振動	大于5Hz正玄波小于等于2μm（P-P）
占地	2000（W）2500（D）1800（H）mm
重量	325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV）
門寬	850mm以上

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掃描電子顯微鏡JSM-6510日本電子（JEOL）