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公司基本資料信息
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| 產(chǎn) 品 特 點(diǎn) | 與普通的CVD系統(tǒng)相比，因?yàn)橛械入x子源的介入,系統(tǒng)的沉積溫度相對(duì)較低。 配備有滑軌式管式爐可以輕松實(shí)現(xiàn)快速降溫，實(shí)現(xiàn)快速退火。 操控界面可配備液晶操作系統(tǒng)，圖文顯示，直觀易懂，對(duì)于設(shè)備的使用操作簡單易學(xué) 該系統(tǒng)工作溫度接近1150℃，能滿足大多數(shù)熱處理場合。 該設(shè)備可具體用于：碳、 ZnO 納米管或納米線的制備也可以用于制備單層石墨烯以及各種CVD實(shí)驗(yàn) 。 |
| 等 離 子 發(fā) 生 器 | 輸出功率: 5 ～500W ± 1% . 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% . 反射功率: 約200W 阻抗匹配: 自動(dòng)  |
| 真 空 泵 機(jī) 組 | 雙極旋片泵, 極限真空0.1Pa KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連. 管內(nèi)真空可達(dá)1Pa 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（需要另外計(jì)算費(fèi)用）  |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 三通道的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制. MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2和3: 0~500 sccm 一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口. 進(jìn)氣接口: 1/4NPS. 出氣接口: 1/4NPS. |
| 水冷系統(tǒng) | 水冷法蘭要求：水流量 >= 10L/M ，配有專業(yè)水冷機(jī)組。 |
| 管式爐 | 爐管直徑：80mm 爐管長度：1400mm 爐膛長度：440mm 控溫精度：±1℃ 工作溫度：≦1200℃  |
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