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公司基本資料信息
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1、概述
本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過(guò)毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應(yīng)氣流瞬時(shí)流量，所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。
1.1 使用范圍
質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能。
質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能。
1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)
☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開(kāi)放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。
配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量。
S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)
| 編號(hào) | 項(xiàng)目 | S48 300/HMT |
| 1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
| 2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
| 3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
| 4 | 安裝角度 | 任意 |
| 5 | 流量控制范圍 | 2%-F.S. |
| 6 | 流量測(cè)量范圍 | 0-F.S. |
| 7 | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 sec |
| 8 | 工作環(huán)境溫度 | 5-50℃ |
| 9 | 精度保證溫度 | 15-35℃ |
| 10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
| 11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
| 12 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
| 13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
| 14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
| 15 | 泄漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
| 16 | 接觸氣體材料 | 316L，Viton® 氟橡膠，PTFE |
| 17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
| 18 | 供電電源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
| 19 | 設(shè)定信號(hào) | 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
| 20 | 流量輸出信號(hào) | 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA |
| 21 | 通訊接口 | 數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15 |
| 22 | 重量(kg) | 0.9 |
2、術(shù)語(yǔ) 符號(hào)
2.1 質(zhì)量流量
以單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如：毫升/分鐘即mL/min（SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即L/min（SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：氣體溫度 273.15K (0℃)，氣壓 101325Pa(1atm)。
2.2 F.S.(Full Scale)
表示滿量程值
2.3 準(zhǔn)確度
滿量程精度：控制器示值與標(biāo)準(zhǔn)器測(cè)量的實(shí)際值之差與滿量程（F.S.）實(shí)際值相比的百分比值。如：±0.3% F.S.(帶后綴F.S.)。
2.4 標(biāo)定條件
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氮?dú)釴2標(biāo)定。如果某質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)定為其它種類氣體，則是經(jīng)過(guò)換算，而成為所標(biāo)定的氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下用 體積/分種 表示的質(zhì)量流量。
2.5 響應(yīng)時(shí)間
當(dāng)設(shè)定值發(fā)生階躍變化（例：0à），氣體流量將跟隨改變，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間將達(dá)到相對(duì)終穩(wěn)態(tài)值的誤差范圍之內(nèi)，經(jīng)過(guò)的這段時(shí)間就叫響應(yīng)時(shí)間。T98是規(guī)定離終穩(wěn)定值相差±2% F.S. 的時(shí)刻。
2.6 工作壓力范圍與耐壓
工作壓力范圍是指能保證控制器在全量程范圍內(nèi)正常穩(wěn)定工作的小到的入口與出口壓力差。
耐壓是指控制器管路內(nèi)壓力相對(duì)安裝環(huán)境（大氣壓）的安全不泄露的極限耐受壓力。
2.7 流動(dòng)方向
氣流流過(guò)流量控制器或流量計(jì)的方向。
由于熱式流量計(jì)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，決定了氣流流動(dòng)方向只能是閥體上箭頭所示方向，不能裝反，否則將無(wú)法使用或損壞。
2.8 模式切換
上電后自動(dòng)切換到模擬控制模式。通過(guò)上位機(jī)發(fā)送設(shè)定指令，能自動(dòng)將控制器切換到數(shù)字控制模式。
通過(guò)上位機(jī)串口的“模擬數(shù)字切換”指令可在數(shù)字控制模式和模擬控制模式之間切換。
2.9 閥控選擇
閥狀態(tài)分為三種，分別是：清洗狀態(tài)、關(guān)閉狀態(tài)和閥控狀態(tài)。既可用模擬控制方式進(jìn)行切換，也可用數(shù)字控制方式進(jìn)行切換。
2.9.1 模擬切換
在控制器插頭“閥控”引出腳加+15Vdc，閥將處于清洗狀態(tài)，即閥開(kāi)度；
若“閥控”引出腳懸空，閥將進(jìn)入閥控狀態(tài)，由設(shè)定值來(lái)控制閥開(kāi)度。
若“閥控”引出腳加-15Vdc，閥將處于關(guān)閉狀態(tài)。
S48 300/HMT MFC 在“閥控”引出腳加入的“清洗”和“關(guān)閉”命令，優(yōu)先于“設(shè)定輸入”執(zhí)行，即不管設(shè)定輸入為何值。
2.9.2 數(shù)字切換
“閥控”引出腳懸空，通過(guò)上位機(jī)串口的“閥控狀態(tài)”指令可將閥設(shè)定為清洗狀態(tài)、關(guān)閉狀態(tài)或閥控狀態(tài)。
S48 300/HMT MFC 輸入的“清洗”和“關(guān)閉”指令，優(yōu)先于“設(shè)定輸入”執(zhí)行，即不管設(shè)定輸入為何值。
2.9.3 閥控制狀態(tài)優(yōu)先級(jí)
模擬清洗狀態(tài)、模擬關(guān)閉狀態(tài) > 數(shù)字清洗狀態(tài)、數(shù)字關(guān)閉狀態(tài) > 設(shè)定輸入
2.10 自動(dòng)關(guān)閉
設(shè)定值小于滿量程1%時(shí)，閥將自動(dòng)關(guān)閉。控制器的控制范圍為滿量程的2%～。
2.11 自動(dòng)調(diào)零
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))由于環(huán)境的變化和長(zhǎng)時(shí)間的使用，可能出現(xiàn)零點(diǎn)漂移的情況。為了得到更高的流量控制精度，需要對(duì)零點(diǎn)進(jìn)行修正。S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))具備自動(dòng)調(diào)零功能。當(dāng)零點(diǎn)偏移時(shí)，控制器可自動(dòng)調(diào)整零點(diǎn)。S48 300/HMT MFC 在設(shè)定輸入為0%或者關(guān)閉狀態(tài)且保持5分以上時(shí)，自動(dòng)調(diào)零模塊會(huì)對(duì)零點(diǎn)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整。
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