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公司基本資料信息
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技術(shù)指標(biāo)
測(cè)量范圍：（薄膜）0.01～6500 cm3/m2·d（常規(guī)）
0.07～63000cm3/m2·d（可選）
（容器）0.0001~62 cm3/pkg·d（常規(guī)）
分 辨 率：（薄膜）0.001 cm3/m2·d
（容器） 0.00001 cm3/m2·d
控溫范圍：5℃～95℃
控溫精度：±0.1℃
濕腔濕度：0%RH、35%RH～90%RH、RH
控濕精度：±1%RH
試樣數(shù)量：3 件，各自獨(dú)立
測(cè)試面積：48cm2
試樣尺寸：（薄膜）≥150 mm×94mm或圓形試樣
（容器） ≤Ф120mm * 400mm（H）
試樣厚度：≤3mm
載 氣：99.999%高純氮?dú)?（氣源用戶(hù)自備）
載氣流量：0~200ml/min
接口尺寸：1/8英寸金屬管
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