| 殘余氣體分析儀（四極質(zhì)譜儀） | |
 ToolCheck在真空診斷中是創(chuàng)新的概念，它橋接了真空計(jì)與RGAs之間的空隙。這臺(tái)簡(jiǎn)易的高功能儀器用于監(jiān)測(cè)真空系統(tǒng)，精確地辨別常規(guī)的殘余氣體，便于及時(shí)檢測(cè)真空問(wèn)題與快速消除故障。這臺(tái)全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室，內(nèi)置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運(yùn)行于系統(tǒng)控制器的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)頁(yè)瀏覽器查閱結(jié)果，無(wú)需外接計(jì)算機(jī)。 簡(jiǎn)單的指令組易于寫入用戶特定的碼，將ToolCheck集成于您的系統(tǒng)控制器。 |
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| Transpector 2 的特點(diǎn) |
| ·I100－，200－，和300－amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。 |
| ·改進(jìn)的氫檢測(cè)。 |
| ·與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍 |
| ·快速掃描低值訊號(hào) |
| ·個(gè)量級(jí)的電子學(xué)動(dòng)態(tài)量程 |
| ·用于單傳感器和多傳感器系統(tǒng)的軟件選件 |
| ·分壓測(cè)量從1×10-4乇至2×10-14乇 |
Transpector 2 是基于四極場(chǎng)的智能傳感器，全部傳感器電子驅(qū)動(dòng)加上微處理器安裝在一個(gè)附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器，具有相當(dāng)?shù)撵`活性，您可以使用當(dāng)前的計(jì)算機(jī)或從INFICON選購(gòu)PC和軟件包。兩種通訊鏈接，RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置，將Transpector2 連接控制計(jì)算機(jī)。簡(jiǎn)單的指令協(xié)議支配全部Transpector功能。
| Transpwctor XPR3 氣體分析系統(tǒng) |  用Transpwctor XPR3進(jìn)行工藝監(jiān)測(cè)可為您提供有關(guān)污染程度、出氣量值、氣體純度和設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。 | | 這個(gè)信息有助于產(chǎn)量與產(chǎn)額的化，由于問(wèn)題的及時(shí)監(jiān)測(cè)與診斷而降低損耗，由于更有效地采取預(yù)防性維護(hù)程序，可提高設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間。 | | TRANSPECTOR XPR3的特點(diǎn) | | ·新設(shè)計(jì)的離子源使污染的產(chǎn)生小化，從而延長(zhǎng)使用壽命 和提供更清楚的訊號(hào)。 | | ·新型EM在PVD工藝壓強(qiáng)下工作，提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換，簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)的解譯過(guò)程。 | | ·新型加長(zhǎng)的四極桿場(chǎng)可提高低質(zhì)量范圍的過(guò)濾能力，提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，從而改善氫的監(jiān)測(cè)靈敏度。 | | Transpwctor XPR3是新一代的高壓強(qiáng)四極場(chǎng)工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上，在物理相汽沉積（PVD）檢測(cè)中具有無(wú)比高的靈敏度、精確度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空，無(wú)需大型負(fù)責(zé)的壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換設(shè)備。 | | TRANSPECTOR XPR3的應(yīng)用 | | ·PVD工藝模塊 | | ·預(yù)清洗模塊 | | ·Non-cluter PVD設(shè)備 | | ·Clamped的除氣模塊 | |
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