GB/T 3163-2007 真空技術(shù) 術(shù)語
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T 3163-1993
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空技術(shù)方面的一般術(shù)語、真空泵及有關(guān)術(shù)語、真空計術(shù)語、真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語、檢漏及有關(guān)術(shù)語、真空鍍膜技術(shù)術(shù)語、真空干燥和冷凍干燥術(shù)語、表面分析技術(shù)術(shù)語和真空冶金術(shù)語。
