GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關受控環境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關受控環境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級
GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關受控環境中，按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等級。附錄A~附錄D中給出了關于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法。本部分適用于潔凈室及相關受控環境中的所有固體表面，如墻壁、頂棚、地板、生產環境、工具、設備和產品。按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級（SCP）限于粒徑0.05um~500um的粒子。本部分對以下事項未予考慮：一特定工藝的潔凈度及適合性要求；一表面的清潔步驟；一材料特性；一涉及相互結合力或通常與時間和工藝過程有關的事項；一分級和測試統計方法的選擇和使用；——粒子的其他特性，如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。